同花順金融研究中心12月16日訊，有投資者向嘉欣絲綢提問， 耐威科技 子公司瑞典Silex的MEMS在手訂單飽滿，生產排期已經超過14個月，請問公司子公司芯動科技在MEMS方面是否有佈局？
公司回答表示，感謝您對公司的關注，芯動科技專注於高端MEMS芯片生產，產品主要應用在高端工業、國防軍工等領域。
公司主營業務包括MEMS芯片的工藝開發和晶圓製造，MEMS業務的增長得益於MEMS芯片下游應用市場的高景氣度及公司在MEMS芯片工藝開發及晶圓製造方面的全球領先競爭優勢。
公司持有華夏芯（北京）通用處理器有限公司22.7%股份。此外，公司間接持有全球領先的MEMS芯片製造商賽萊克斯98%的股權。 在MEMS方面，Silex掌握了硅通孔、晶圓鍵合、深反應離子刻蝕等多項在業內具備國際領先競爭力的工藝技術和工藝模塊。Silex擁有目前為業界最先進的硅通孔絕緣層工藝平臺(TSI),通過MEMS技術在硅晶片上形成電介質隔離區域，利用DRIE實現刻蝕高寬比和垂直側壁，在硅片中形成溝槽並延伸貫通整個硅片，經過TSI處理後的晶圓將單晶硅用高質量的絕緣溝槽進行隔離。
嘉欣絲綢參股40%芯動科技
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