分子泵是一种真空泵，它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度，从而将其压缩并驱动到上一级的排气口。
维护分子泵的操作要求：
1.分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏；
2.分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵；
3.当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；
4.打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；
5.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；
6.当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
7.当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵；
8.当分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作；
9.当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。
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