XY中空式大行程直线压电扫描台

P17系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

特点

• XY二维运动，位移可达187.5μm

• 承载能力1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 分辨率可达5nm

• 可选配闭环传感器

典型应用

• 图像处理与稳定

• 扫描显微

• 干涉/计量

• 表面检测

• 晶圆定位

• 微操作

频率负载曲线

稳定性好 响应速度快

P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现XY轴187.5×187.5μm的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、最快的响应时间可达5毫秒。闭环版本采用高精度的传感反馈，与E00/E01系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。

阶跃时间

P17.XY200S负载10g达满行程的响应时间约30ms。

应用实例

P17系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用，该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做XY轴187.5μm行程范围的纳米级精密定位。