根據中國國際招標網，本土晶圓廠的設備招投標隨著新冠疫情的全面好轉而重啟，華虹無錫項目、上海華力二期的設備招投標工作自3月啟動，中微半導體、北方華創、華海清科等獲得多個設備訂單，引領設備國產化，繼續強烈推薦半導體設備板塊。
一、本土晶圓廠擴產恢復正常
1、華力二期：3月份以來密集招投標刻蝕、CVD、PVD、離子注入機等工藝設備。截至今日，華力二期累計釋放620臺工藝設備，其中國產設備52臺，國產化率8％，剔除量測設備的國產化率為13％；2、華虹無錫：陸續公佈招投標CMP、光刻機、Etch、塗膠顯影、Clean、熱處理等工藝設備。華虹無錫累計釋放418臺工藝設備，其中國產設備40臺，國產化率10％，剔除量測設備的國產化率為14％；3、長江存儲：宣佈128層QLC3DNAND閃存研發成功，並已在多家控制器廠商SSD等終端存儲產品上通過驗證，相比64層對設備的需求將大幅增加。長江存儲累計釋放1,347臺工藝設備，其中國產設備183臺，國產化率14％，剔除量測設備的國產化率為17％；4、上海積塔：3月30日8寸線正式投片，12寸線即將啟動。截至目前，上海積塔累計釋放195臺工藝設備，其中國產設備27臺，國產化率14％。
二、一線國產設備供應商持續獲得訂單
1、中微半導體：介質刻蝕市佔率普遍超20％。中微近期在上海華力二期項目獲得2臺銅互連溝槽等離子刻蝕機臺訂單，累計獲得11臺刻蝕設備訂單，在該產線的刻蝕設備市佔率達到17％，在該產線的介質刻蝕設備中的市佔率36％。在華虹半導體（無錫）項目獲得3臺刻蝕設備訂單，包括1臺鈍化膜等離子體刻蝕機和2臺氧化膜等離子刻蝕機，累計獲得10臺刻蝕設備訂單，在該產線的刻蝕設備市佔率達到21％，在該產線的介質刻蝕設備中的市佔率40％。
2、北方華創：硅基刻蝕市佔率超20％。北方華創近期在華虹半導體（無錫）項目獲得2臺PVD，2臺STI刻蝕設備訂單，以及3月底獲得3臺合金退火爐，累計獲得3臺PVD、4臺刻蝕設備、7臺熱處理訂單，在該產線的對應的PVD、硅基刻蝕、熱處理設備中的市佔率依次是19％、27％、8％。
3、華海清科：優質的CMP國產設備供應商。近期在華虹半導體（無錫）項目獲得3臺CMP，累計獲得5臺CMP訂單，在該產線的CMP的市佔率是38％。此外，華海清科還中標上海新昇1臺CMP設備。
三、重點推薦
繼續推薦北方華創、精測電子、萬業企業、晶盛機電、長川科技，關注中微公司、盛美、至純科技、芯源微、華峰測控等。
評級面臨的主要風險。客戶項目進度低於預期，新產品工藝驗證時間長且風險高。
本文源自財富動力網
