我國芯片製造獲重大突破,“卡脖子”零部件將實現產業應用

光刻機是集成電路生產製造過程中的關鍵設備,主流深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻機主要由荷蘭ASML公司壟斷生產,屬於國內集成電路製造業的“卡脖子”技術。甘棕松團隊在沒有任何可借鑑的技術情況下,開拓了一條光製造新的路徑,打破了三維微納光製造的國外技術壟斷,在這個領域,從材料、軟件到光機電零部件,都將不再受制於人。在解決製造速度等關鍵問題後,該技術將有望應用於集成電路製造。


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