半导体机台利用率如何提高,在半导体封装中,因wafer的翘曲度等,8in一直是12/13 pcs per batch.但在12in中,slot pich达到了10mm,所以可以直接25pcs/batch,和芯片fab厂一致。那效率提高了多少呢?我们利用采集的数据进行分析。
以外观检测机台AOI为列:
library(dplyr)
library(sqldf)
library(ggplot2)
library(grid) # 一页多图包
library(plotly) # 动态表格
library(ggthemes) #配色主题包
library(RColorBrewer) # R的配色主题包
# 从EDA平台中找到需要的data,使用sqldf函数,
AOI
再梳理下哪些机台25pcs跑货了,使用dplyr包中的filter函数
AOI_25
进行不同的数据查看
unique(AOI_25$machineId)
进行ggplot画图:
aoi_oee
theme_economist()+scale_fill_economist()+ #使用ggthemes包中的华尔街商业模板
theme(axis.title.x=element_blank(),axis.title.y=element_blank())+ #去除x/y的标题
labs(title="AOI OEE Per Month:unit(%)")+ # 加标题
geom_text(aes(label=Utilization),position=position_stack(vjust=0.85)) #加柱子图的标签,调整字的高度
# 机台过站信息查询:
使用sqldf函数,查找AOI-09/10/11/12(之前分析过,该机台跑过25pcs))
AutoTrack_AOImachineId=='AOI-12'")
aoi
geom_point()+
theme_economist()+
scale_fill_economist()+
labs(y="wf-pcs",title="AOI每bath跑货的wafer数量")+
theme(axis.title.x=element_blank())
需要将2张图放置在一个页面,需要加装grid包:
grid.newpage() #创建页面
pushViewport(viewport(layout=grid.layout(2,1))) #将页面分成2行
vplayout
print(aoi_oee,vp=vplayout(1,1))
print(aoi,vp=vplayout(2,1))
得到图如下:
从图上可以看到,机台使用25pcs跑的,机台效率整体提高很多,机台利用率变高了。
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