1920年，捷克斯洛伐克作家卡雷爾·恰佩克在其科幻小說《羅薩姆的機器人萬能公司》中，根據Robota（捷克文，原意為“勞役、苦工”）和Robotnik（波蘭文，原意為“工人”），創造出Robot（機器人）一詞。
1939年，美國紐約世博會上展出了西屋電氣公司製造的家用機器人Elektro。這臺機器人由電纜控制，可以行走，能說77個字，而且可以抽菸，不過離真正幹家務活還差很遠。但它讓人們對家用機器人的憧憬變得更加具體。
1948年，諾伯特·維納出版了《控制論》，闡述了機器中的通信和控制機能與人的神經、感覺機能的共同規律，率先提出以計算機為核心的自動化工廠。
1954年，美國人喬治·德沃爾成功研製出世界上第一臺可編程的機器人，並且註冊了專利。這種機械人能按照不同的程序從事不同的工作，因此具有通用性和靈活性。
1959年，美國人英格伯格和德沃爾聯手製造出世界上第一臺工業機器人，他們認為汽車工業最適於使用機器人幹活，因為使用重型機器進行工作，生產過程較為固定。隨後，英格伯格成立了世界上第一家機器人制造工廠——Unimation公司。由於英格伯格對工業機器人的研發和宣傳做出了重大貢獻，因此他被稱為“工業機器人之父”。從此，機器人的歷史才真正開始。
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