近日，全球領先的半導體行業沉積設備供應商AIXTRON愛思強股份有限公司（法蘭克福證券交易所：AIXA）宣佈，AIXTRON已為瀚天天成電子科技(廈門)有限公司提供了一臺AIX G5 WW C 設備，支持其進一步開發下一代碳化硅（SiC）外延片產品，主要用於製造電動汽車中的功率器件。AIXTRON的高產能機臺已於2019年第三季度運至中國廈門瀚天天成的潔淨室。
AIX G5 WW C MOCVD使用基於經過量產客戶驗證的AIXTRON行星式反應器®平臺，並導入全自動化卡匣式（C2C）晶圓傳輸系統，實現了業內單腔最大片數(8 x 6英寸)及最大產能。它同時提供了靈活的6英寸和4英寸配置，旨在將生產成本壓縮到最低，同時保持優良的產品質量。
瀚天天成尋求進一步擴大其產能，以滿足客戶日益增長的需求。作為一個領先的中國生產商，瀚天天成已建成4英寸和6英寸生產線，為客戶提供600伏，1200伏和1700伏碳化硅功率器件的外延片產品。
“近年來，我們已被汽車和其他行業的器件製造商評為領先的SiC外延片供應商。因此我們在這個極具挑戰性的行業裡已經建立了良好的口碑。至目前為止，我們已經為全球100多個客戶提供一流的服務。隨著AIX G5WW C的引入，我們的年產能將在2019年增加到60,000片。我們最近完成了18000平方米新工廠的一期擴建，為年產40萬片的目標提供潔淨室空間。我們和我們的客戶都有高質量的標準，我們依賴於行業領先者，例如AIXTRON和他們成熟的系統來滿足這些要求。我們十分期待使用AIX G5 WW C來實現SiC外延片的大規模量產。”瀚天天成總經理馮淦博士說。
AIXTRON SE愛思強股份有限公司總裁Felix Grawert博士評論道：“我們很高興與領先的外延代工廠合作，進一步加速碳化硅器件的商業化進程。碳化硅功率器件將助力眾多高端電力電子應用的發展，這意味著我們正在為電動汽車及可再生能源等國際大趨勢鋪平道路。”
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