南北朝时期，五台山佛教的发展出现第一个高潮。北魏孝文帝对灵鹫寺进行规模较大的扩建，并在周围兴建了善经院、真容院等十二个寺院。北齐时，五台山寺庙猛增到二百余座。到了隋朝，隋文帝又下诏在五个台顶各建一座寺庙。即东台望海寺、南台普济寺、西台法雷寺、北台灵应寺、中台演教寺。也因为五台山是文殊菩萨演教的地方，所以这五个台顶上的寺庙均供奉文殊菩萨，但五个文殊的法号不同：东台望海寺供聪明文殊、南台普济寺供智慧文殊、西台法雷寺供狮子文殊、北台灵应寺供无垢文殊、中台演教寺供孺童文殊。从此以后，凡到五台山朝拜的人，都要到五个台顶寺庙里礼拜，叫做朝台。此时，五台山之名已在北齐史籍中大量出现。
尊胜寺塔盛唐时期，五台山佛教的发展出现了第二个高潮。这个期间据《古清凉传》，全山寺院多达三百所，有僧侣三千余人。此时的五台山，不仅是我国著名的佛教名山之一，而且是名符其实的佛教圣地了，被誉为我国佛教四大名山之首。
五台山成为佛教圣地，并在中外佛教界发生重大影响，是从唐代开始的。有唐一代是五台山佛教发展史上的一个关键时期。
李唐王朝起兵太原而有天下，所以视五台山为“祖宗植德之所”。李渊在起兵反隋时，就对佛教许下大愿，如果当上皇帝，一定大弘三宝。武德二年（619）李渊便在京师集聚高僧，立十大德，管理僧尼事务。唐太宗即位后，重兴译经事业，使波罗颇迦罗蜜多罗主持，又度僧三千人，并在旧战场各地建造寺院。贞观九年（635），太宗下诏曰：“五台山者，文殊必宅，万圣幽栖，境系太原，实我祖宗植德之所，切宜祗畏。”“是年，台山建十刹，度增数百。”
武则天在争夺皇位的斗争中，非常重视佛教的作用。长寿二年（693），名僧菩提流志等呈上新译《宝雨经》，称菩萨现女身，为武则天上台大造舆论。证圣元年（695），武后命菩提流志和实叉难陀重新翻译《华严经》。圣历二年（699）译毕。新译《华严经》说：“东北方有处，名清凉山。从昔以来，诸菩萨众于中止住。现有菩萨名文殊师利，与其眷属诸菩萨众一万人，俱常在其中而演说法。”长安二年（702），武则天自称“神游五顶（清凉五台山的五大高峰）”，敕命重建五台山的代表寺院清凉寺。竣工后，命大德感法师为清凉寺住持，并封其为“昌平县开国公，食邑一千户，主掌京国僧尼事。”
这是五台山在全国佛教界取得统治地位的发端，也是五台山在封建统治者的利用和主持下，发展成为名山圣地的开始。
据记载，唐代自太宗至德宗，“凡九帝，莫不倾仰灵山，留神圣境，御札天衣，每光五顶，中使香药，不断岁时，至于百辟归崇，殊帮赍供，不可悉记矣。”显而易见，从唐太宗到唐德宗，都对五台山佛教给予极大的支持和扶助。 从佛教经典来看，除新译《华严经》说文殊菩萨住处“名清凉山”外，《佛说文殊师利宝藏陀罗尼经》也云：“佛告金刚密迹王言：我灭度后，于此南赡部州东北方，有国名大震那，其中有山名五顶，文殊童子游行居住，为诸众生于中说法。”
由于佛教经典中所说的文殊菩萨住处——“清凉山”“五顶山”，同五台山的地形、气候、环境，极为相似，所以，中外佛教徒便把五台山这个“五峰耸出”“曾无炎暑”的自然场所，当作是他们虚幻世界里的文殊菩萨住地了。五台山由此驰名中外，显赫于世，成为佛教徒竞相朝礼的圣地。不言而喻，五台山是借助于李唐王朝的强盛而成为圣地、名扬中外的。
在唐代，佛教备受推崇，文殊菩萨尤其为佛教徒所尊崇。当时国家规定，全国所有寺院的斋堂，都必须供奉文殊菩萨圣像。由于朝野都尊奉文殊菩萨，视五台山为佛教圣地，所以五台山空前隆盛，名僧辈出，澄观就是一个突出的代表。澄观，（738－839），俗姓夏侯，字大休，越州山阴（今浙江绍兴）人。十一岁，在应天宝林寺出家，十四岁得度，三十九岁时，“誓游五台，一一巡礼。”在遍访五台山名刹胜迹之后，留居大华严寺研习《华严经》，在寺中主讲《华严经》五年。后来，澄观觉得“华严旧疏，旨约文繁。”于是，“旦暮策怀，思惟造疏。”唐德宗兴元元年（784）四月八日，澄观谢绝交游，在大华严寺制疏阁重新注疏《华严经》。至德宗贞元三年（787）十一月五日，历时三年多，终于著述出《大方广佛华严经疏》六十卷。唐代宗时，澄观被代宗“事以师礼”。唐德宗又尊其为“教授和尚”，“诏受镇国大师号，进天下大僧录。”宪宗即位，“敕有司别铸金印，迁赐僧统清凉国师之号，统冠天下缁僧，主教门事。”“穆宗、敬宗咸仰巨休，悉封大照国师。文宗太和五年，帝受心戒于师。开成元年，帝以师百岁寿诞，赐农财食味，加封大统国师。”“中外台铺重臣，咸以八戒礼而师之”。
澄观“生历九朝，为七帝师”，于唐文宗开成四年（839）卒，寿一百零二。唐文宗“特辍朝三日”，命“重臣缟素”，隆重葬之。被尊为“华严宗第四代祖师”。有唐一代，五台山名僧辈出，这也是五台山佛教圣地形成的一个重要标志。
五台山佛教圣地形成的另一标志，是佛教寺院的大规模兴建和僧侣人数的增加。在唐代，五台山见诸记载的佛寺就有七十余所，其规模都十分宏伟。
随着佛寺的兴建和扩大，五台山的僧侣人数亦日益增多。唐德宗贞元年间，合山僧尼达万人之众。寺院的兴旺发展引起对社会政治、经济的重大负面影响，唐文宗遂于会昌五年（854）下诏废佛，命令拆毁寺字，勒令僧尼还俗。综计全国拆毁大小寺庙四万四千六百余所，僧尼还俗二十六万余人，收回土地数千万顷。五台山亦不例外，僧侣散尽，寺庙被毁。唐宣宗即位，又再兴佛教。政府规定五台山的僧数仍达“五千僧”。实际上，加上私度和游方僧，要比“五千僧”多得多。纵观历代五台山的僧侣人数，以唐代为最多。寺庙林立，僧侣若云，这也是唐代五台山佛教圣地形成的一个标志。
唐代五台山佛教圣地形成的另一个标志，是外国佛教徒对五台山的无限景仰和竞相朝礼。唐朝经济繁荣，国势强盛，在国际上声望甚高，是亚洲各国经济文化交流的中心。随着国际交往的扩大，五台山还受到印度、日本、朝鲜和斯里兰卡等国佛教徒的景仰。朝礼五台山和到五台山求取佛经、佛法的外国僧侣很多。
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